半导体工艺测试设备应用技术研究

摘要：

半导体工艺根据产品需要会有不同的工艺流程和对应的工艺参数,测试设备实现工艺质量的实时监控.分析半导体工艺线测试设备的需求,做测试应用技术研究.

关键词：半导体工艺测试、颗粒度测试、缺陷测试、扫描电镜

分类号：TN06(一般性问题)

在线出版日期：2018-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：147-149