10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2017.07D.20
静电吸盘吸附技术建模与仿真系统设计
半导体设备中常用静电吸盘的原理,通过在LABVIEW软件中仿真得出设备最佳运行状态下的相关参数.分析单极和双极静电吸盘的模型建立过程,研究Varian 810离子注入机的六相静电吸盘的原理及其使用中夹持电压、冷却气体等对产品良率的影响,提出生产过程的监控参数.
静电吸盘、建模、离子注入、仿真
TN305(半导体技术)
2018-01-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
40-43