UMC850三坐标仪故障修复

摘要：

1.设备及故障UMC850三坐标仪是德国ZEISS公司的高精度测量仪,使用环境20±3℃,设计分辨率0.2μm,测量范围X向850mm,Y向2340mm,Z向600mm.使用多年后,近期无法进行正常测量.仪器工作时Z轴运行声音异常,测量探头精度下降,分辨率由平时微米级降至毫米级.

机标关键词：三坐标仪、高精度测量仪、分辨率、使用环境、声音异常、测量探头、测量范围、微米级、毫米级、运行、仪器、设计、设备、故障、公司、德国

分类号：TP3;TG8

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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