10.3969/j.issn.1001-0599.2011.11.034
UMC850三坐标仪故障修复
1.设备及故障UMC850三坐标仪是德国ZEISS公司的高精度测量仪,使用环境20±3℃,设计分辨率0.2μm,测量范围X向850mm,Y向2340mm,Z向600mm.使用多年后,近期无法进行正常测量.仪器工作时Z轴运行声音异常,测量探头精度下降,分辨率由平时微米级降至毫米级.
三坐标仪、高精度测量仪、分辨率、使用环境、声音异常、测量探头、测量范围、微米级、毫米级、运行、仪器、设计、设备、故障、公司、德国
TP3;TG8
2012-03-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共1页
60