10.3969/j.issn.1001-0599.2006.09.026
两种光电直读光谱仪故障分析
@@ 1.Baird-1000型稳定性差故障
测得各元素的相对标准偏差较大,超出正常范围,表明仪器稳定性较差.
(1)氩气的影响.从流量上讲,其静态氩为1SCFH,冲洗、预燃、曝光的流量为20SCFH,均属正常状态,从氩气纯度上讲,与另一台设备使用同批号的氩气,因此问题不在于此.
光电直读光谱仪、氩气纯度、相对标准偏差、稳定性、流量、状态、元素、仪器、设备、曝光、批号、故障、冲洗
O65;TQ0
2006-10-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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