谈微电子专用设备的维修

摘要：

微电子设备包含机械、电气技术、各种传感器技术,还包含电源、真空、制冷、激光、超声、焊接等各门类的知识.维修时要有充分的备件、设备数据的备份、微电子产品生产工艺知识,从局部入手还应该整体把握,可进行合理的更换来查找故障.

关键词：微电子设备、备件、备份、合理更换

分类号：TN60(电子元件、组件)

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：13-14