10.3969/j.issn.1001-0599.1998.09.032
FA/O抛光液及抛光技术
@@ FA/O抛光液是一种新型的电子化工材料,由于采用了催化、解吸、均蚀技术,产品具有无磨料、均腐蚀、粘度低、极易清洗、高速率、高活性、高浓缩度、高质量、低成本等特点.
抛光液、电子化工材料、无磨料、高速率、高浓缩、高活性、质量、粘度、清洗、解吸、技术、腐蚀、催化、成本、产品
TS8;TQ1
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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抛光液、电子化工材料、无磨料、高速率、高浓缩、高活性、质量、粘度、清洗、解吸、技术、腐蚀、催化、成本、产品
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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