高纯纳米无定形硼粉的制备研究

摘要：

本文采用等离子体技术制备了高纯纳米无定形硼粉,对不同氢气与BCl3气体流量比例、反应气体总流量及冷却气流量等工艺参数对纯度、粒度及晶型的影响进行了探究.结果表明,在一定范围内,硼粉纯度随着H2通入量在BCl3、H2通入量比例中的上升而增加,硼粉粒度随着反应气体(BCl3和H2)总通入量和冷却气流量的上升而下降,硼粉晶型随着冷却气流量的上升从晶体硼逐渐转变为无定形硼.通过上述影响规律,确定BCl3、H2通入量比例1:4、反应气体总通入量2.25 m3/h、冷却气流量0.9 m3/h为较优工艺参数,通过确定的较优工艺参数制备高纯纳米无定形硼粉,获得了纯度高达99.97 wt.％、主粒径30～100 nm、平均粒径51.06 nm的硼粉.

关键词：等离子体、高纯、纳米硼粉、无定形

所属期刊栏目：14

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

在线出版日期：2023-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：23-29