真空冷喷涂致密Al2O3陶瓷涂层微观结构的研究

摘要：

本文选用平均粒径为400nm的Al2O3陶瓷粉末,采用真空冷喷涂的方法在玻璃基体上制备了涂层,采用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)以及高分辨透射电镜(HR-TEM)等方法对真空冷喷涂氧化铝涂层的微观结构进行了深入分析.结果表明,Al2O3颗粒主要是以单个颗粒作为沉积单元,喷涂颗粒高速碰撞基体和已沉积涂层,发生了晶粒细化及塑性变形,在涂层的局部能够观察到由于粒子的强烈撞击而形成的非晶组织.此外,由于粒子高速碰撞过程中发生塑性变形,涂层局部产生了高密度的位错.

关键词：真空冷喷涂、Al2O3 涂层、微观结构、局部非晶化、塑性变形

所属期刊栏目：9

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：973国家重点基础研究计划2012CB625100;教育部留学回国基金

在线出版日期：2017-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：36-45