基于热反射法的微纳结构热扫描技术研究

摘要：

随着微电子及微纳加工技术的飞速发展,电子器件的发热和热管理成为制约器件性能进一步提升的关键因素,微纳结构的热物性是电子器件热设计中最关键的参数之一,因而对微纳结构材料的热物性进行测量,对于微纳器件和材料的热设计和热优化具有极为重要的意义.基于光热反射法,利用双波长飞秒激光抽运探测热反射系统对微纳结构材料的热物性进行了测量.此外,还通过样品表面的微区热扫描,实现了对微纳结构形貌和热性质的对比和表征,并分析了系统的空间分辨率.

关键词：飞秒激光、光热反射率、热导率、空间分辨率、抽运-探测

所属期刊栏目：18

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：中国科学院科研装备研制资助项目YZ201606

在线出版日期：2019-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：94-99