铝传感层蒸镀速率对飞秒激光抽运探测 热反射方法测量热导率影响的研究

摘要：

对飞秒激光抽运探测热反射实验中的一个关键因素传感层进行了研究,发现铝传感层的蒸镀速率对飞秒激光抽运实验有着很大的影响.分别在3种不同类型的硅片和玻璃片基底上用不同的蒸镀速率蒸镀了100 nm的铝膜蒸镀速率控制在2×10-10到15×10-10 m/s.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线反射(XRR)研究了蒸镀铝膜表面的形貌及铝膜的厚度.基于飞秒激光抽运探测热反射方法对基底的热导率进行了测量,发现随着蒸镀速率的增大,不同基底测量得到的热导率呈现一致的规律.结果表明,蒸镀速率越大,铝传感层的晶粒越大,传感层的体积热容越小,当蒸镀速率大到一定程度时,由于晶粒的不规则度越来越大,反过来又影响体积热容的大小,从而影响了飞秒激光抽运探测热反射.

关键词：飞秒激光抽运探测热反射、传感层、蒸镀速率、晶粒尺寸

所属期刊栏目：17

分类号：TN304.24(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目Y6111765E1;国家重点基金资助项目51336009

在线出版日期：2018-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：290-295