10.3969/j.issn.1671-8097.2013.02.010
多晶硅氢化炉多场耦合的数值模拟
利用计算流体力学软件,考虑包括质量传递、动量传递、热量传递模型,对18对棒西门子多晶硅氢化炉进行数值模拟,得到了多晶硅氢化炉内的流场、温度场,分别从轴向和径向对流动情况以及温度分布进行了分析.通过与实际生产情况进行比较,表明流场、温度场数值模拟的可靠性和准确性.
多晶硅、氢化炉、流场、温度场
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TK175(热力工程、热机)
2013-07-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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