厚类金刚石膜研究进展

摘要：

类金刚石膜是一种由sp3和sp2混合的亚稳态碳膜.因其良好的力学性能、较低的摩擦系数、优异的抗磨损性能,在石油、航空航天、汽车零部件、医学和光学领域被广泛应用.但因类金刚石膜中存在大的内应力,类金刚石膜的厚度受到限制,而在摩擦磨损过程中很易被损坏,极大限制了类金刚石膜在某些领域的应用.概述了类金刚石膜的组织特点、主要制备方法.同时归纳了厚类金刚石膜的研究现状及降低DLC涂层内应力方面的研究进展,并对目前研究成果中存在的问题进行了总结.

关键词：类金刚石膜、摩擦系数、抗磨损、制备方法、内应力

所属期刊栏目：52

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金51861031

在线出版日期：2023-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19