TiZrHf中熵合金表面MPCVD法制备金刚石-碳化物涂层及其摩擦磨损性能研究

摘要：

采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)法,以高纯甲烷和氢气为反应气体,在TiZrHf中熵合金表面碳化-沉积获得碳化物/金刚石涂层.利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损等方法表征了不同甲烷浓度条件下涂层的组织结构、物相组成、硬度及耐磨性能.结果 表明,碳化-沉积后涂层的主要成分为金属碳化物和纳米金刚石颗粒,表面硬度明显提升.其中,甲烷浓度为3％时,涂层的表面硬度最高(约660.2 HV),摩擦系数最低,且耐磨性得到极大改善.

关键词：TiZrHf合金、MPCVD、碳化物、纳米金刚石颗粒、摩擦磨损

所属期刊栏目：51

分类号：TG135.5(金属学与热处理)

资助基金：山西省科技重大专项项目;山西省应用基础研究计划面上青年基金项目

在线出版日期：2022-03-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：87-90,99