不同沉积温度下AZO透明导电薄膜的性能研究

摘要：

以纯度为99.99％氧化锌铝(w(ZnO)=98.00wt％,w(Al2O3)=2.00wt％)陶瓷靶为原料,利用直流磁控溅射法在普通白玻璃衬底上制备铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、四点探针测试仪和紫外可见光分光光度计等对薄膜的形貌、结构及光电性能进行分析.结果表明:薄膜具有c轴择优取向.随沉积温度升高,薄膜的结晶度先提高后下降,晶粒尺寸逐渐减小.当沉积温度为200℃时,可获得晶粒尺寸为18.30 nm、电阻率为4.1×10-3Ω·cm、透过率为93.80％的AZO透明导电薄膜.

关键词：透明导电、AZO薄膜、磁控溅射、沉积温度

所属期刊栏目：46

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金;广东省金属平台创新建设

在线出版日期：2018-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：155-157,161