基于有限元和正交试验法的CVD感应加热器数值模拟及优化

摘要：

通过有限元数值模拟软件与正交试验设计相结合的方法对CVD设备反应室的温度场进行优化.研究了激励电流、电流频率、线圈匝数、线圈间距和加热时间对沉积石墨管温度场的影响.引入平均温度、温度标准差及变异系数指标,采用5因素5水平的正交试验法来设计参数组合进行有限元模拟.通过极差分析和方差分析确定影响石墨管的温度、温度方差及变异系数指标的主次因素,确定最优值.最后对最优的感应加热参数进行模拟验证.结果表明:优化后的温度均匀性获得改善.同时,模拟次数大量减少,提高了优化效率.

关键词：有限元、正交试验、感应加热、参数优化

所属期刊栏目：46

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2018-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：82-86,91