磁控溅射法制备IGZO薄膜材料技术的研究进展

摘要：

IGZO TFT具有载流子迁移率高、可见光透过率高、大面积均匀性良好、低功耗等优点,成为显示器朝着大尺寸、柔性化方向发展最具潜力的新型背板技术.综述了IGZO材料的特性和应用,总结出IGZO薄膜的制备方法,同时提出了IGZO靶材的性能要求和关键技术,可为IGZO靶材的研究及产业化提供借鉴.

关键词：IGZO、溅射靶材、光电薄膜、制备技术

所属期刊栏目：45

分类号：TN304.21(半导体技术)

在线出版日期：2017-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-18,23