调制周期对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和摩擦性能的影响
采用电弧离子镀方法制备了TiN/TiAlN多层薄膜,研究了调制周期对薄膜多层结构和摩擦磨损性能的影响.结果表明:在相同的沉积时间内,随调制周期的增加,多层薄膜的层数减少,每一层的厚度增加,层与层之间的区分更加清晰.摩擦磨损测试结果表明:由于多层薄膜的调制结构,引起薄膜对磨层的变化,当多层薄膜的调制周期为54 nm时,多层薄膜的摩擦系数最小;当调制周期为112nm时,多层薄膜的摩擦系数最高;当调制周期为164nm时,多层薄膜的磨痕宽度最小.在摩擦磨损过程中,GCr 15钢球的磨损面一直处于快速磨损阶段,对磨痕能谱线扫描结果发现磨屑的主要成分是Fe和FeOx.
电弧离子镀、TiN/TiAlN多层薄膜、调制周期、摩擦磨损
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TB302.1;TB333(工程材料学)
航空科学基金;国家自然科学基金;河南省教育厅项目;河南省科技厅基础与前沿技术研究项目;河南省高等学校科技创新团队支持计划
2014-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
151-155
