钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响

摘要：

研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构,并研究了采用磁控溅射法,通氮气与不通氮气条件下沉积涂层的成分、结构和性能,探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分、结构和性能之间的关系.

关键词：靶材、涂层、磁控溅射

所属期刊栏目：43

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金;国家科技重大专项

在线出版日期：2014-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：143-146