基于ANSYS模拟的Bi4Ti3O12铁电薄膜残余应力分析

摘要：

用ANSYS软件对Bi4Ti3O12(BTO)薄膜退火过程中形成的热应力进行了模拟,并研究了BTO薄膜的厚度对热应力的影响.结果表明:BTO薄膜厚度为0.3 μm时,薄膜经过退火之后产生的热应力为压应力.当薄膜从0.1 μm逐渐变化为1μm时,薄膜表面的热应力从最大的压应力逐渐减小,当厚度为0.8 μm时转变为拉应力,且随厚度的增加继续增加.

关键词：薄膜、退火、残余应力

所属期刊栏目：43

分类号：TG174(金属学与热处理)

在线出版日期：2014-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：158-160