基于正交试验Ti0.33Al0.67N膜层制备工艺研究

摘要：

选用纯Ti靶与Ti0.33Al0.67合金靶制备Ti0.33Al0.67N膜层,在对基体材料进行离子渗氮之后,采用正交试验对多弧离子镀中的工艺参数进行优化,通过观察膜层结合力、表面形貌、显微硬度和膜层厚度选择最佳的工艺参数.

关键词：多弧离子镀、Ti0.33Al0.67N、正交试验

所属期刊栏目：42

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：江苏省海洋资源开发研究院开放基金JSIMR11C27

在线出版日期：2013-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：113-114,119