基体负偏压对膜层形貌与性能的影响

摘要：

用多弧离子镀技术在40Cr基体上制备Ti0.33Al0.67N复合膜层；分析基体负偏压对膜层形貌、厚度、结合力及显微硬度等性能的影响.结果表明,基体负偏压参数设计范围内存在一个最佳值,可获得最优性能的膜层.

关键词：多弧离子镀、离子渗氮、制备工艺

所属期刊栏目：42

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：重庆大学机械传动国家重点实验室开放基金资助项目SKLMT-KFKT-200907

在线出版日期：2013-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：103-105