钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响

摘要：

以紫铜为基体,采用热丝CVD法合成金刚石薄膜,研究了钛过渡层及研磨金刚石粉(俗称“种植晶仔”)预处理对金刚石薄膜生长状态的影响.用X射线(XRD)、拉曼光谱、扫描电镜(SEM)对所沉积的金刚石薄膜进行了研究.研究发现:活性钛金属过渡层有利于金刚石的形核,而且也提高了成膜质量；“种植晶仔”预处理有利于金刚石形核,而且减少了非晶碳的形成.

关键词：金刚石薄膜、热丝CVD、钛过渡层、研磨预处理

所属期刊栏目：42

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：广东省科技计划2011A081301003

在线出版日期：2013-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：97-99