CVD法制备ZnS的数值模拟

摘要：

介绍了红外用光学材料ZnS的性能和制备方法.通过建立CVD法制备ZnS的物理模型,针对流量和压力对沉积过程的影响进行了数值模拟.结果表明,随气体流量的减小,沉积室内气流柱增高,回流区域增大,沉积速率增大且最大值上移.随沉积压力的减小,沉积室内气流柱同样增高,回流区域增大,沉积速率分布逐渐均匀化,但沉积速率整体减小.数值模拟的结果对具体的掌握沉积过程中的影响因素有一定的帮助.

关键词：化学气相沉积、数值模拟、ZnS

所属期刊栏目：42

分类号：TG174(金属学与热处理)

在线出版日期：2013-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：170-172