Ag-Al共掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能的研究

摘要：

采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃基片上制备了Ag+、Al3+共掺Zno薄膜,通过XRD、紫外分光光度计和金相显微镜等设备,研究了掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜组织结构和光学性能的影响.结果表明,掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构和光学性能的影响因浓度不同而有差异.Ag+、Al3+掺杂浓度为1%时,摩尔比为4:1;固定Ag+浓度为1.5%,Al3+浓度为0.5%;Ag+、Al3+浓度为3%,摩尔比为4:1,提拉次数15次时,ZaO薄膜的结构、透光率最好.

关键词：溶胶-凝胶、掺杂ZnO薄膜、晶体结构、透光率

所属期刊栏目：40

分类号：TG113.22(金属学与热处理)

在线出版日期：2011-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,38