10.3969/j.issn.1001-3814.2000.06.014
电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜影响因素研究
研究了N2流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜质量的影响规律及其原因.
阴极电弧源法、AlN薄膜、电子浴、工艺参数
TG156.8(金属学与热处理)
山西省青年基金981026
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
34-35,64
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10.3969/j.issn.1001-3814.2000.06.014
阴极电弧源法、AlN薄膜、电子浴、工艺参数
TG156.8(金属学与热处理)
山西省青年基金981026
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
34-35,64
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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