10.3969/j.issn.0254-0150.2016.03.012
CrSiCN薄膜的力学性能及水润滑特性研究
运用非平衡磁控溅射技术,通过改变硅烷的流量,在Si (100)和316L不锈钢片基材上沉积不同元素含量的CrSiCN四元薄膜;运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和纳米压痕仪分别研究薄膜的结构、表面形貌和纳米硬度;运用球-盘摩擦磨损试验机研究水润滑下CrSiCN薄膜与Al2 O3小球对摩的摩擦学特性。结果表明:由于固溶强化和纳米复合结构的形成, CrSiCN薄膜在硅烷流量为10 sccm获得最大硬度19.3 GPa和最大弹性模量306.9 GPa,继续增加硅烷流量,由于薄膜结构向非晶态转变,薄膜硬度降低;硅烷流量为10 sccm得到的薄膜CrSiCN具有最低的摩擦因数0.24,随着硅烷流量的增加,由于硬度的降低和过量非晶相的形成,薄膜抗磨性能降低,摩擦因数波动较大。
CrSiCN薄膜、摩擦特性、水润滑、力学性能
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TH117.2
国家自然科学基金项目51375231;教育部博士点基金博导类项目20133218110030;江苏省研究生培养创新工程 KYLX0234;2014年大学生创新创业训练计划项目201410298081X.
2016-05-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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