斜切角对β-Ga2O3(100)面衬底加工的影响研究

摘要：

本文研究了斜切角的引入对β-Ga2 O3(100)面衬底加工的影响,分析了斜切角分别为 0°、1°、6°时,(100)面衬底在加工过程中的形貌变化及不同抛光参数对衬底抛光的影响.实验结果表明,随着斜切角的增大,(100)面衬底在加工过程中的解理损伤问题得以改善,加工后表面粗糙度降低,材料去除方式出现了脆性去除-脆塑性混合去除-塑性去除的转变.较小的抛光压力可以有效减少解理损伤,改善表面质量.斜切角为6°时的(100)面衬底抛光效率高,抛光后表面粗糙度可达到Ra≤0.2 nm.

关键词：β-Ga2O3、解理、斜切角、抛光、表面粗糙度

所属期刊栏目：52

分类号：TQ133.5+1

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;广东省重点领域研发计划;深圳市基础研究计划;工程2.0

在线出版日期：2023-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1570-1575