终端金刚石能带结构与物理性能的研究进展

摘要：

5G 通信、能源互联网、新能源汽车、量子技术等高精尖领域对半导体的性能提出了新的更高的要求.第四代半导体金刚石因具有优异的物理化学性能被誉为"终极半导体",被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件最理想的材料.而浅n型掺杂的技术瓶颈一定程度阻碍了金刚石半导体应用的发展.表面终端研究为金刚石功能化的发展提供了新的策略,金刚石通过表面终端实现了场效应晶体管、肖特基二极管、日盲紫外探测器、电子发射器件和近表面色心调控等重要应用,而表面终端发挥作用的机理与其能带结构特点密不可分.本文综述了几种常见终端的能带研究方法,分析其能带的结构特点,结合特点介绍其发挥作用的机理,并进行了总结和展望.

关键词：金刚石、表面终端、能带结构、二维空穴气、肖特基结、紫外探测

所属期刊栏目：52

分类号：TQ163;TN386

资助基金：国家自然科学基金52102163

在线出版日期：2023-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共15页

页码：945-959