BaTiO3薄膜的制备及其在电光调制器的应用

摘要：

BaTiO3凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质,成为制备高性能电光调制器的关键材料.其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等,进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光比等性能.本文从电光调制器的工作原理出发,围绕BaTiO3薄膜的制备方法、实验条件和薄膜衬底等,探讨了成膜的取向和质量的影响因素,分析了各个BaTiO3薄膜制备方法的优缺点,论述了波导的结构及参数,并展望了未来优化BaTiO3薄膜制备和波导制作工艺的方向.

关键词：BaTiO3薄膜、电光调制器、波导、电光系数、化学气相沉积法、分子束外延法

所属期刊栏目：52

分类号：O484;O439(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;结构化学国家重点实验室科学基金;湖北工业大学绿色工业引领计划

在线出版日期：2023-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：688-700