高拉速对?300mm单晶硅点缺陷分布及生产能耗的影响

摘要：

大尺寸直拉单晶硅的"增效降本"是当前光伏企业急需解决的问题.本文采用有限元体积法对?300 mm直拉单晶硅生长过程分别进行稳态和非稳态全局模拟,研究提高拉晶速率对直拉单晶硅生长过程中的固液界面、点缺陷分布以及生长能耗的影响.结果表明:拉晶速率提高为1.6 mm/min时固液界面的偏移量为33 mm,不会影响晶体的稳定生长;拉晶速率对晶体中点缺陷的分布起决定性作用,提高拉晶速率不仅能降低自间隙点缺陷的浓度,而且使晶棒内V/G始终高于临界值;且拉晶速率对功率消耗影响较大,提高拉晶速率后晶体生长时间减少了46.4％,单根晶体生长消耗功率降低了约4.97％.优化和控制适宜的拉晶速率有利于低成本地生长特定点缺陷分布甚至无点缺陷单晶硅,为提高大尺寸直拉单晶硅质量、降低生产能耗提供一定的理论支持.

关键词：直拉单晶硅、有限元体积法、拉晶速率、固液界面、点缺陷、生产能耗

所属期刊栏目：52

分类号：TQ127.2

资助基金：国家自然科学基金;直拉法单晶硅低能耗关键制备技术研究

在线出版日期：2023-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：562-570