10.3969/j.issn.1000-985X.2022.12.007
β-Ga2O3晶体金刚石线锯切割的表面质量研究
本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对β-Ga2O3单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割β-Ga2O3单晶过程中磨粒行为和材料去除机理.实验从各向异性角度分析了切割方向对(001)面β-Ga2O3单晶切割片表面质量的影响,并采用SEM和SJ-210粗糙度测试仪探究了工艺参数对金刚石线锯切割后的晶片表面质量的影响.实验结果表明,增大锯丝速度或减小材料进给速度都能降低亚表面损伤层深度及表面粗糙度,有效改善晶片表面质量.
β-Ga2O3晶片、金刚石线锯、切割方向、亚表面损伤层、表面粗糙度
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TQ133.5
2023-02-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共9页
2040-2047,2062