高性能Zn扩散掺镁LN晶体脊形波导器件的研究

摘要：

将铌酸锂(LiNbO3,LN)晶体制作成波导型结构能够进一步提高器件的集成度,已经广泛应用于电光调制器、频率变换、声光调Q等光电器件中,在光纤通信、光电传感、激光雷达、航天航空等领域具有重要的应用前景.传统的Ti扩散法制作的LN波导在短波应用中抗光折变损伤能力差,退火质子交换法制作的LN波导只能支持TM模(横磁模)单偏振传输,应用领域受限.本文提出了一种新型Zn扩散法制作掺镁LN脊形波导的方法,通过建立波导的扩散模型和仿真,探索制备的工艺条件并进行测试,得到的LN波导最低传输损耗为0.86 dB/cm,光折变损伤阈值可达到184 kW/cm2,这将为高功率铌酸锂波导集成光电器件的研发提供一种较好的制备途径.

关键词：掺镁铌酸锂晶体、光波导、波导器件、Zn扩散、高功率密度、传输损耗

所属期刊栏目：51

分类号：O734(晶体物理)

资助基金：中国福建光电信息科学与技术创新实验室闽都实验室自主部署项目;国防基础科研项目

在线出版日期：2022-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1823-1829