化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势

摘要：

化学气相沉积(CVD)技术的发展使得金刚石优异的综合性能得以充分发挥,在诸多领域获得应用,并有可能实现跨越式的发展.色心使得金刚石量子加速器初步显示了巨大可行性,包括紫外激光写入窗口等诸多应用场景将金刚石的光、电、热和力学综合优势发挥到了极致,超宽禁带金刚石半导体应用将很快实现,金刚石的散热应用也在不断拓展.本文在总结CVD金刚石的制备方法和性能特点的基础上,根据金刚石的本征特点和应用领域,将其分为量子级、电子级、光学级、热学级和力学级五类,对各类金刚石的研究和应用状况进行了详细阐述,进一步明晰CVD金刚石目前的发展状态,对研判其未来发展趋势有重要意义.

关键词：化学气相沉积、金刚石、色心、超宽禁带、散热、超硬材料

所属期刊栏目：51

分类号：TQ163

资助基金：国家重点研发计划;国家重点研发计划;欧洲地平线计划;北京科技大学顺德研究生院科研经费

在线出版日期：2022-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共22页

页码：759-780