昆明物理研究所分子束外延碲镉汞薄膜技术进展

摘要：

碲镉汞(MCT)自从问世以来一直是高端红外(IR)探测器领域的首选材料,分子束外延碲镉汞技术具有低成本异质外延、材料能带精准调控、原位成结等优势,是第三代红外焦平面陈列(FPA)器件研制的重要手段.本文报道了昆明物理研究所分子束外延(MBE)MCT薄膜技术进展,包括材料结构、晶体质量、表面缺陷、材料均匀性、掺杂浓度等参数优化控制的研究结果.异质衬底、碲锌镉衬底上MCT薄膜尺寸分别为4英寸(10.16 cm)及2.5 cm×2.5 cm,材料EPD值分别在1×106 cm-2附近及(3～30)×104 cm-2范围,表面宏观缺陷密度分别在30 cm-2附近及100～300 cm-2范围,薄膜质量与国内外先进水平相当.采用分子束外延MCT薄膜实现了2048×2048中波红外(MWIR)、2048×2048短波甚高分辨率红外(SWIR)焦平面、640×512中短双色红外(S-MWIR)、320×256中中双色红外(M-MWIR)FPA探测器的研制和验证.

关键词：分子束外延、碲镉汞、碲锌镉衬底、异质衬底、红外探测器

所属期刊栏目：49

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2021-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：2221-2229