一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力

摘要：

温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力.为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理.使用现有“两步法”退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本.现提出了“一步法”退火工艺,即在1750～ 1800℃空气气氛中直接进行高温退火.蓝宝石晶棒经“一步法”退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100％和70％.蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广.

关键词：蓝宝石晶棒、“一步法”退火、翘曲度、弯曲度、透过率

所属期刊栏目：48

分类号：O77+9(晶体缺陷)

在线出版日期：2019-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1860-1862