基于微机械加工工艺的声子晶体器件

摘要：

声子晶体是一种周期复合人工超材料.声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力.利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大.设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能.内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面.

关键词：声子晶体、微机电系统、禁带

所属期刊栏目：48

分类号：TN65;TN011.4(电子元件、组件)

资助基金：国家自然科学基金51675516

在线出版日期：2019-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1418-1423