光化学溶胶-凝胶制备PLZT铁电薄膜及其光电特性

摘要：

为了降低PLZT铁电薄膜的结晶温度,使用溶胶-凝胶法配合紫外光辐照的光化学工艺,在单晶硅基板上低温制备了PLZT铁电薄膜.经过紫外辐照过的凝胶膜可以在400℃促使PLZT获得良好的铁电性能,剩余极化强度为12.3μC/cm2.紫外辐照过的薄膜可以在低温下有效地分解金属醇盐,形成活性金属氧化物,保证材料低温结晶.辐照过程中产生的臭氧可以带走薄膜中的残炭,使得薄膜具有良好的铁电性能.低温制备的PLZT铁电薄膜获得了稳定的光电流和较好的光电转化效率.

关键词：PLZT、铁电薄膜、溶胶-凝胶法、光电特性

所属期刊栏目：48

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：陕西省大学生创新创业训练计划项目201828052

在线出版日期：2019-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：321-325