工件位置对薄膜沉积速率的影响

摘要：

研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4 μm、2.1μm、1.8 μm.通过有限元模拟软件Ansys对这种现象进行了分析,沉积装置内部气体的压强和气体质量分数分布变化不大,而装置不同位置处工件表面气体流速和气体密度有明显的变化,三个工件表面气体流速依次为0.072 ～0.103 m/s,0.089～0.121 m/s,0.114 ～0.148 m/s,气体密度为6.37e-5 kg/m3,5.81e-5 kg/m3,5.18e-5 kg/m3.因此,在沉积过程中,不同位置处的薄膜沉积速率的主要影响因素是气体流速和气体密度.

关键词：类金刚石薄膜、薄膜沉积厚度、Ansys、气体密度、气体流速

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分类号：O484.2(固体物理学)

资助基金：河南省“百人计划”人才项目豫人才办[2015]4号;“智汇郑州·1125聚才计划”项目2015YL006

在线出版日期：2018-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1030-1035