10.3969/j.issn.1000-985X.2018.05.026
工件位置对薄膜沉积速率的影响
研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4 μm、2.1μm、1.8 μm.通过有限元模拟软件Ansys对这种现象进行了分析,沉积装置内部气体的压强和气体质量分数分布变化不大,而装置不同位置处工件表面气体流速和气体密度有明显的变化,三个工件表面气体流速依次为0.072 ~0.103 m/s,0.089~0.121 m/s,0.114 ~0.148 m/s,气体密度为6.37e-5 kg/m3,5.81e-5 kg/m3,5.18e-5 kg/m3.因此,在沉积过程中,不同位置处的薄膜沉积速率的主要影响因素是气体流速和气体密度.
类金刚石薄膜、薄膜沉积厚度、Ansys、气体密度、气体流速
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O484.2(固体物理学)
河南省“百人计划”人才项目豫人才办[2015]4号;“智汇郑州·1125聚才计划”项目2015YL006
2018-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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