溶胶-凝胶法制备PbZr0.52Ti0.48O3铁电薄膜及其光伏特性的研究

摘要：

使用溶胶-凝胶法在石英玻璃基片上制备了PZT铁电薄膜,通过控制热处理工艺,制备出致密且均匀的PZT铁电薄膜.通过获得高的剩余极化强度,提高PZT膜层的内建电场,从而提高PZT铁电薄膜的光电转化效率.经过500℃高温热处理1h后不仅提高了PZT的结晶度,同时提高了PZT的致密度,PZT薄膜经过电场的极化,可以获得剩余极化强度为17 μc/cm2.紫外光照射下的光电流稳定.

关键词：PZT、铁电薄膜、光伏特性

所属期刊栏目：47

分类号：TM910

资助基金：陕西省教育厅科研专项基金2015JK1801

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：594-597