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3D型冷阴极结构形态对场发射影响研究

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通过在圆铜片上用导电银胶固定圆柱体和长方体形成3D型冷阴极,采用有限元分析软件ANSYS仿真分析了圆柱体和长方体上表面的电场分布,圆柱体直径为12.7 mm,长方体阴极上表面为正方形,边长为12.7 mm.两种阴极高度相同,采用化学气相沉积法(CVD),以酞菁铁(FePc)为催化剂,在圆柱体和长方体上表面合成了碳纳米管薄膜(CNTs),合成的碳纳米管形貌由场发射扫描电镜(FESEM)进行表征,采用二极管结构,以涂有荧光粉的ITO导电玻璃作为阳极,在真空室中真空度为2×10-4 Pa测设了两种3D型冷阴极的场发射特性,结果表明,随着两种阴极场强最大值比值增大,长方体阴极的场发射性能优于圆柱体阴极.

有限元、阴极结构、场发射

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TB43(工业通用技术与设备)

国家自然科学基金61274012,11404291;河南省科技创新杰出人才项目164200510006;航空科学基金2014ZF55013,2015ZF55013;河南省高等学校重点科研项目计划16B140005

2017-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

1138-1142

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