粒子束注入单晶硅尺寸效应的机理研究

摘要：

使用分子动力学方法研究硅粒子注入技术.系统比较分析了团簇粒子的包含反射,扩散和植入基底在内的全部运动过程,同时使用可视化方法观测记录基底表面形貌演化过程.所建立模型直观地显示了低注入能量域内的新特征.注入过程中,团簇粒子由不同粒径(数量)的硅原子组成.通过对粒径变化在注入过程的影响研究揭示了注入技术机理.仿真结果表明提出方法可用于定量预测注入粒子表面分布.本文工作可作为原子尺度下生成基底表面特征或设计图案的参考,并对可控表面沉积技术提供理论指导.

关键词：单晶硅、粒子束注入、注入率、分子动力学、尺寸效应

所属期刊栏目：46

分类号：TB131;TN304.055;TN305.2(工程基础科学)

资助基金：国家自然科学基金51622507,61471255,61474079,61403273,51502193,61307006

在线出版日期：2017-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1064-1071