横向超声激励对金刚石线锯切割单晶SiC切割速度及切割机理影响

摘要：

硬脆晶体材料如SiC、Ge和Si等,由于具有极高的硬度和脆性,普通线锯切割很难进一步提高硬脆材料晶片的切割效率和表面质量.本研究把超声振动应用到金刚石线锯切割单晶SiC.基于超声振动切削加工的特点,分析了柔性线锯横向振动切割单晶SiC的必要条件;建立了横向超声激励下柔性金刚石线锯对SiC工件的动态切割过程模型,研究分析了超声振动对线锯间歇切割弧长及切割速度的影响,得到横向超声振动线锯切割速度增量的数学表达式.基于压痕裂纹模型,讨论了横向超声振动线锯切割和普通线锯切割对切割速度、切割力和表面粗糙度的影响.以单晶SiC为切割对象,对普通线锯切割和超声振动线锯切割进行了对比实验,结果表明在相同条件下,超声振动线锯切割使晶片的表面粗糙度有明显改善,超声振动线锯的切割速度比普通线锯切割的速度提高了约45%,锯切力减少28%~53%.实验结果与理论分析具有良好的一致性.

关键词：金刚石线锯、横向超声振动、线锯振动切割条件、锯切速度、SiC切割实验

所属期刊栏目：46

分类号：TG663;TQ127.2

资助基金：国家自然科学基金51575442,51675422

在线出版日期：2017-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：1054-1063