多周期溅射单质靶制备铜锌锡硫薄膜电池

摘要：

采用多周期磁控溅射单质靶Cu-Sn-Zn制备CZTS薄膜太阳电池.多周期包含两周期和四周期,同时与单周期制备的CZTS薄膜电池作对比.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和拉曼光谱仪(Raman)对不同周期得到的CZTS薄膜的晶体性质、表面样貌、化学成分等性质进行分析研究.分析结果显示,多周期制备的CZTS薄膜晶体质量要比单周期的好,表面均匀致密.重要的是四周期溅射制备的CZTS薄膜是研究的最佳实验组.最终把不同周期得到的CZTS薄膜制备成完整的器件结构,得到的太阳电池效率分别是:单周期2.64%,两周期3.01%,四周期3.36%.

关键词：多周期、磁控溅射、铜锌锡硫(CZTS)、薄膜太阳电池

所属期刊栏目：46

分类号：TM913

资助基金：西南地区可再生能源研究与开发协同创新中心项目05300205020516009;国家自然科学基金61167003

在线出版日期：2017-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：903-907