双氧水对溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的影响
以氧氯化锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源,采用溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜.借助SEM、DTA-TG、FT-IR、XRD等分析测试手段研究了添加双氧水(H2O2)对制备硅酸锆薄膜的影响,并研究了薄膜的抗腐蚀性能.结果表明:适量的双氧水可以有效地促进氧氯化锆的水解,进而克服薄膜高温失重造成孔洞和致密性差的问题;当H2O2/Zr的摩尔比小于2时,制备的薄膜不致密、不均匀;当H2O2/Zr的摩尔比大于2时,制备的样品有杂质相;最优的H2O2/Zr摩尔比为2,可制得均匀、致密的硅酸锆薄膜;所制备的薄膜具有较好的抗NaOH溶液腐蚀性能,单晶硅基片腐蚀前后质量损失为16.92％,而镀有硅酸锆薄膜的单晶硅基片腐蚀前后质量损失仅为0.56％.
硅酸锆、溶胶-凝胶法、双氧水、抗腐蚀性
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TQ174.75
国家自然科学基金51362014,51662016,51402135;江西省优势科技创新团队建设计划20133BCB24010;江西省教育厅基金GJJ150887,GJJ150919
2017-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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224-230
