N型半导体金刚石的研究现状与展望
作为半导体材料的金刚石具有宽的禁带宽度和高的热导率、介质击穿场强等优异性质,因此其应用前景广阔.P型金刚石发展较N型金刚石成熟.因为缺乏可实用的N型金刚石材料,这使得金刚石半导体器件的应用难以实现.因此N型半导体金刚石成为研究者关注的焦点.论文从掺杂元素和制备方法两方面详细介绍了国内外N型金刚石的研究现状.硼与磷或硫元素共掺杂获得N型金刚石的研究取得了较大进展;利用化学气相沉积法和离子注入法制备N型半导体金刚石研究较多且取得了一定进展.高压高温下的温度梯度法便于掺杂调控金刚石性能,因而利用该法合成N型半导体金刚石大单晶值得尝试.
金刚石、N型半导体、掺杂
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TN304(半导体技术)
河南理工大学创新型科研团队支持计划T2013-4;河南理工大学材料工程专业学位研究生专业实践示范基地2016YJD03;河南省教育厅重点资助12A430010;焦作市应用基础研究项目212
2016-12-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
2728-2734,2740
