SiC单晶刻划过程的脆塑性转变特征研究

摘要：

SiC单晶化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好,广泛用于大功率器件产业.但由于其材料的硬度很大,加工非常困难.脆性材料塑性域加工为提高该类材料的表面质量,降低加工时间和成本提供了有效的途径.本文采用不同刀具角度和刀尖圆弧半径的单点金刚石刀具对4H-SiC单晶进行刻划实验,利用声发射、摩擦力传感器来监测刻划过程中声发射信号强度以及摩擦力的变化,并通过Leica DCM3D以及SEM观察划痕沟槽表面形貌、切屑状态,综合分析以获得4H-SiC单晶在不同角度、刀尖圆弧半径下塑脆转变的临界切削深度.结果表明,增大刀具角度有利于塑性域加工;在相同条件下,刀尖圆弧半径越大,临界切削深度越大.

关键词：SiC单晶、脆性材料、塑性域加工、临界切削深度

所属期刊栏目：45

分类号：TH162

资助基金：国家自然科学基金51575442,51175420;陕西省机械装备重点实验室14JS061

在线出版日期：2016-12-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：2614-2625