液相沉积法制备(004)取向的TiO2薄膜

摘要：

采用液相沉积法(LPD)制备二氧化钛薄膜,探索pH值对二氧化钛薄膜样品成份、结构和性能的影响,利用XRD、FESEM、UV等方法对薄膜的结构、形貌以及光学特性进行表征.结果表明LPD制备的二氧化钛薄膜为锐钛矿相,可见光透过率高达80％,具有明显的(004)取向;薄膜的结构和光学特性依赖沉积液pH值,pH=2.03时所制备的薄膜取向性最佳,柱状晶粒排列整齐.

关键词：液相沉积、pH值、(004)取向、TiO2薄膜

所属期刊栏目：45

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：高校优秀青年人才支持计划重点项目gxyqZD2016150;安徽省教育厅自然科学研究项目KJ2016A819

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1416-1420