彩色镀膜玻璃的溅射法制备及其环境稳定性研究

摘要：

经过膜系设计,以TiO2和SiO2为介质膜,采用磁控溅射镀膜工艺,制备了不同颜色的镀膜玻璃,计算了不同颜色玻璃的色坐标.用XPS表征了TiO2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比;用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性反射的特性;通过将镀膜玻璃浸泡于酸、碱中测试了其环境稳定性.测试结果表明,复合膜具有较强的抗碱能力,但其抗酸腐蚀能力较弱,随着腐蚀时间的延长,反射谱线向短波方向漂移且峰值降低;同时,也分析了腐蚀机理和谱线漂移的原因.

关键词：彩色镀膜玻璃、磁控溅射、TiO2和SiO2薄膜、环境稳定性

所属期刊栏目：45

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：企业委托、湖北省重大科技创新计划项目2013AAA005

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1391-1396