抛光液酸碱性对固结磨料抛光硫化锌晶体的影响

摘要：

硫化锌晶体是一种重要的红外光学材料,在红外成像、导弹制导、红外对抗等红外技术领域应用广泛.抛光液能够与工件及抛光垫发生化学反应从而影响工件表面质量和材料去除率.实验采用乙二胺、氢氧化钠、柠檬酸、盐酸分别配制不同的酸碱性抛光液,研究抛光液酸碱性对固结磨料抛光硫化锌晶体材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响.实验结果表明:酸性抛光液抛光的材料去除率高于碱性抛光液;柠檬酸抛光液可同时获得优表面质量和高加工效率,抛光后的晶体表面粗糙度Sa值为4.22 nm,材料去除率为437 nm/min.

关键词：抛光液、硫化锌、固结磨料抛光、表面粗糙度、材料去除率

所属期刊栏目：45

分类号：O786;TH161(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金51175260;航空基金2015ZE52056;中国博士后科学基金2014M551586;江苏省博士后科研资助计划1302069B;南京航空航天大学研究生创新基地实验室开放基金项目kfjj20150508

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：304-308