Sn-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性能

摘要：

采用溶胶凝胶法在普通载玻片上制备了Sn-Al共掺杂ZnO薄膜(ZASO薄膜).利用XRD、扫描电子显微镜、霍尔测试仪、双电测四探针测试仪和紫外-可见分光光度计等设备,研究了Sn-Al掺杂浓度、预烧温度对氧化锌薄膜的晶体结构和光电性能的影响.结果表明:预烧温度为500℃,Sn、Al掺杂浓度分别为1.0at％时,得到的ZASO薄膜的综合光电性能最好,晶粒尺寸较大,方块电阻可达3.3 kΩ/□,光学透过率达92.9％.

关键词：溶胶凝胶法、Sn-Al掺杂ZnO薄膜(ZASO)、掺杂浓度、预烧温度

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金51172186,51302218

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：740-745,763